根据国务院《实施〈中华人民共和国促进科技成果转化〉若干规定》以及《中北大学科技成果转移转化实施细则（试行）》文件精神，现将我校《TMAH硅雾化气相刻蚀系统》发明专利转让价格公示如下：
发明名称：TMAH硅雾化气相刻蚀系统
发明人：何剑；丑修建；穆继亮；耿文平；侯晓娟；薛晨阳；徐方良；张辉；高翔；石树正
专利号：ZL 2017 1 0539774.5
专利申请日：2017年7月05日
转化科技成果价格确定方式：与受让方通过协商，并经公示环节进行确定
受让方：宁波向往智能科技有限公司
转让价格：十万元整
该定价公示期为10个工作日，任何单位和个人如对这项成果转化持有异议，请于2020年9月30日前，以书面形式实名向国有资产管理处提出。
联系人：张耀华
联系电话：0351-3924346
国有资产管理处
2020年9月16日
