项目概况 中北大学感应耦合等离子体刻蚀系统等仪器采购项目的潜在投标人应在山西政府采购平台（https://login.sxzfcg.zcygov.cn/user-login/#/login）上获取招标文件，并于2024年11月28日9点00分（北京时间）前在“山西政府采购平台”投标人端提交投标文件。 |
一、项目基本情况
1.项目编号：1499002024AGK03036
校内编号：ZBDXYD-20240104
2.项目名称：感应耦合等离子体刻蚀系统等仪器采购
3.采购计划文号：ZFCG-149900-2024-1-039464-001、
ZFCG-149900-2024-1-039464-002
4.采购方式：公开招标
5.预算金额：第一包：7000000.00元；第二包：1860000.00元。
6.最高限价：第一包：7000000.00元；第二包：1860000.00元。
7.采购需求：
本次招标共2包，参与投标的投标人应按照招标文件要求按包编制投标文件，提交的投标文件应实质性上响应本招标文件的要求。
第一包
序号 |
标的名称 |
数量 |
单位 |
简要技术需求 |
备注 |
1 |
感应耦合等离子体刻蚀系统等仪器采购 |
1 |
套 |
该系统由碳化硅刻蚀设备、深硅刻蚀设备、辅助特气设备及刻蚀掩膜图形化设备四部分构成，可用于实现SiC、Si、Poly-Si、SiO2、Si3N4等材料刻蚀，要求如下： 1、射频功率：0-3000W； 2、样品尺寸：6 英寸，向下兼容； 3、刻蚀速率及刻蚀不均匀性：0.01~0.4μm/min；刻蚀不均匀性优于±5%； 4、终点监测激光波长：670 nm； 5、制冷温度范围：-30℃~80℃； 6、刻蚀材料：III-V族半导体、SiO2、Poly-Si、Si、Si3N4、W、Mo、GaN、GaAs等； 7、支持气体：Cl2、BCl3、HBr、SF6、CHF3、CH4、H2、Ar、N2等。 |
|
是否允许代理商参加 |
是 |
是否接受联合体参加 |
否 |
是否允许合同分包 |
否 |
交货时间 |
合同签订后 120 日内将所有货物交付到中北大学校内采购人指定地点。 |
履约地点 |
太原市尖草坪区学院路3号中北大学校内采购人指定地点。 |
付款方式 |
合同签订后，预付合同金额的 80 %，设备交付到现场后预付合同金额的18 %，现场安装、调试验收合格中标商提供增值税专用发票后，支付合同金额的2%。 |
履约保证金 |
1、本项目要求中标供应商提交履约保证金。 2、中标供应商收到中标通知书后，签订合同前向采购人提交合同额5%的履约保证金。 3、提交履约保证金按照采购人的要求以支票、汇票、本票或者金融机构、担保机构出具的保函等非现金形式提交。 4、中标供应商合同主要义务履行完毕，中标供应商缴纳的履约保证金自项目验收合格之日起 10 个工作日内采购人无息退还。 |
执行标准及验收标准 |
详见招标文件内商务、技术要求。 |
服务要求 |
详见招标文件内商务、技术要求。 |
相关政策要求 |
详见招标文件内商务、技术要求。 |
注：上述表格“备注”栏中未特别标注为“进口产品”字样的，所报货物均必须为国产产品，且必须符合国家强制性标准。
第二包
序号 |
标的名称 |
数量 |
单位 |
简要技术需求 |
备注 |
1 |
可见至近红外高通量光谱系统 |
1 |
套 |
主要指标 1、焦距：≥498mm； 2、波长检测范围：300~1700nm； 3、分辨率≤0.1nm (@1200g/mm标准测试条件20μm狭缝)； 4、采样率≥50 fps@100kHz(FVB)； 5、可见探测器峰值量子效率：≥95%。 |
|
2 |
超宽频声场标定测试系统 |
1 |
套 |
★1、水声频率范围： 10 Hz至1 MHz 2、动态范围：1mPa-10kPa 3、全带宽自噪声：≤1Paê 4、灵敏度：≥3mV/Paê 5、输出阻抗：50Ω 6、全触摸屏操作ê 7、采集和分析软件ê |
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是否允许代理商参加 |
是 |
是否接受联合体参加 |
否 |
是否允许合同分包 |
否 |
交货时间 |
合同签订后 120 日内将所有货物交付到中北大学校内采购人指定地点。 |
履约地点 |
太原市尖草坪区学院路3号中北大学校内采购人指定地点。 |
付款方式 |
合同签订后，预付合同金额的 80 %，设备交付到现场后预付合同金额的18 %，现场安装、调试验收合格中标商提供增值税专用发票后，支付合同金额的2%。 |
履约保证金 |
1、本项目要求中标供应商提交履约保证金。 2、中标供应商收到中标通知书后，签订合同前向采购人提交合同额5%的履约保证金。 3、提交履约保证金按照采购人的要求以支票、汇票、本票或者金融机构、担保机构出具的保函等非现金形式提交。 4、中标供应商合同主要义务履行完毕，中标供应商缴纳的履约保证金自项目验收合格之日起 10 个工作日内采购人无息退还。 |
执行标准及验收标准 |
详见招标文件内商务、技术要求。 |
服务要求 |
详见招标文件内商务、技术要求。 |
相关政策要求 |
详见招标文件内商务、技术要求。 |
注：上述表格“备注”栏中未特别标注为“进口产品”字样的，所报货物均必须为国产产品，且必须符合国家强制性标准。
二、申请人的资格要求
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无。
3.投标人应具备的特定资格条件：
3.1法律、行政法规规定的其他条件：无
3.2本项目的特殊资格要求：无
4.未被“信用中国”（www.creditchina.gov.cn）列入失信被执行人、重大税收违法失信主体名单，未被中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）列入政府采购严重违法失信行为记录名单。
5.单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人，不得参加同一合同项下的政府采购活动。
三、获取招标文件
1、获取时间：2024年11月7日00时00分00秒至2024年11月14日00时00分00秒（北京时间）
2.获取方式：在线获取
凡有意参加本项目投标的潜在投标人，请于获取招标文件截止时间前（北京时间，下同），进入山西政府采购平台（https：//login.sxzfcg.zcygov.cn/user-login/#/login）使用投标人CA数字 证书在线免费获取招标文件。
3.售价：0元
四、提交、解密投标文件截止时间、方式
1.提交投标文件
截止时间：2024年11月28日9点00分（北京时间）
提交方式：投标人须在山西政府采购平台投标客户端（http：//www.ccgp-shanxi.gov.cn/sxCategory15/sxCategory202/sxCategory20201/327.html）按包上传投标文件后提交。
2.解密投标文件
解密时间：30分钟
解密方式：在山西政府采购平台远程解密。
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
1.潜在投标人对招标公告有异议时，应当在法律、法规规定的期限内，通过山西政府采购平台“项目质疑管理”栏向采购人、采购代理机构在线提起质疑。
2.监督部门：山西省财政厅政府采购管理处，监督电话：0351-4123278。
七、凡对本次采购提出询问，请按以下方式联系。
1、采购人信息
名称：中北大学
地址：太原市尖草坪区学院路3号
联系人：周老师
联系方式：0351-3921023
采购人监督部门及联系电话：
纪委办公室电话：0351-3922279
2、采购代理机构信息
名称：太原市宜达科技服务有限公司
地址：太原市高新区创业街天和科技5层
联系方式：0351-7030399
3、项目联系方式
采购人项目联系人：周老师
电话：0351-3921023
采购代理机构项目联系人：王玮萍、袁力敏、王勇、李青威、张红红、杜亚锋
电话：0351-7030399
邮箱：tyydkj@126.com
